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納米級氣浮平台
氣浮直線電機平台是AG尊龙凯时推出的納米級超高精密運動平台。採用進口氣浮模塊, 具有高阻尼、高剛性(氣浮剛度可達150N/μm),氣浮面為花崗岩表面,保證運動平面度及直線度。 自主研發磁性預壓設計,提升其穩定性, 抗外界干擾,解決氣浮弊端。動力採用懸浮直驅電機,無磁頓力、極佳的速度鏈波,搭配極小膨脹係數的銦鋼尺, 穩定的重複精度。平台無摩擦損耗、 無需潤滑、 無需維護。
產品描述

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