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    EFEM晶圓檢測平台
    產品應用 半導體產業:晶圓傳送、晶圓翻轉傳送、鐵框(Frame)傳送 LED產業:藍寶石基板傳送、膠環(Grip ring)傳送、面板傳送
    產品描述

    EFEM晶圓檢測平台

    產品特色

    天然花崗岩直線電機平台,的速度波動,靜音運行

    亞微米級定位精度、重複定位精度

    條碼、標籤及字元辨識,完整追蹤生產歷程。

    提供即時影像監控。

    高效淨化及靜電消除等微環境控制,確保傳送過程中不受污染。

    自動壓力控制系統可以通過環境壓力變化,調節風扇轉速以保持設定值。

    提供客制化晶圓或其它基板搬運需求。


    產品用途:

     

    ●載物台懸浮狀態

    ●無接觸無摩擦

    ●懸浮直線電機驅動

    ●優異的速度鏈波

    ●納米級定位、重複定位精度

    ●直線度可達1μm

    ●無導軌

    ●無油污

    ●無需維護

    ●客制整機系統

    ●非標定製

    ●機電控制一站式服務

    ●晶圓切割

    ●晶圓及半導體檢測

    ●玻璃薄片檢測

    ●晶圓劃線

    ●晶片堆疊

    ·OLED加工

    CCD成像

    ●螢幕檢測

    ●三維形貌等高端製造行

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